二手 ASYST / PST SPARTAN #9254166 待售

ASYST/PST SPARTAN是一款用於半導體制造工藝自動化的高性能晶圓處理器。它是設計用於半導體制造、測試和裝配線的通用晶圓處理機器人，用於處理晶圓、骰子和其他組件。PST SPARTAN由一系列組件組成,包括主框架、晶片拾取/放置轉塔、開放盒式接口（OCI）、開放管接口（OTI）、獨立腔室接口（SACI）、臂接口（AIA）、臂驅動（AS-Sub設備（AGD） A、主框架由一個金屬框架和一個集成的拾取/放置炮塔和一個5軸機器人手臂組成。晶圓拾取/放置轉塔由三個腔室接口組成，一個OCI、一個OTI和一個SACI，用於處理各種晶圓幾何形狀和直徑。5軸機器人手臂具有精確控制的X-Y-Z定位級，可穿越250mm/sec。除了獨特的z摩擦驅動器和直觀的運動控制外，機器人臂還能夠以低於+/-25微米的重復精度執行高精度的拾取/放置動作。手臂接口（AIA）將機器人手臂連接到主框架，並提供移動機器人手臂所需的控制信號。手臂驅動器（ADG）是一種緊湊的電機微米驅動器，能夠提供精確和可重復的運動控制。子組件（SA）用於接口和控制晶圓拾取和放置轉塔。它由一系列電子板和組件組成，能夠生產晶圓處理機器人。ASYST SPARTAN還包括一個軟件套件，其中包括模式改進器、自動校準器、步進分析器和實時運動控制器等各種軟件應用程序。基於Windows的系統允許操作員快速輕松地配置和控制晶圓處理系統，以及監控和評估單元性能。SPARTAN為處理半導體制造、測試和裝配線中的晶圓和其他元件提供了可靠和靈活的解決方案。ASYST/PST SPARTAN具有智能控制機器和精確運動能力,是任何半導體行業的理想選擇。