二手 ASYST / PST SPARTAN #9296848 待售

ID: 9296848
EFEM Wafer sorter (3) Inputs / Outputs.
ASYST/PST SPARTAN是一種機器人晶片處理程序,設計用於一次運輸和處理多達85個晶片。機器人由三個獨立的部件組成:晶圓輸送機、處理機和轉移設備。輸送機將晶片從輸入位置移動到處理程序。處理程序拾取晶片並將其傳輸到傳輸系統,傳輸系統將其傳輸到輸出位置。輸出位置可以是LS220或AS8600控制器,也可以是EDA平臺。PST SPARTAN處理程序使用虎鉗式工程來固定晶片。虎鉗式工程有可調節的手指,用來固定晶片在運輸時。轉運單位由四支轉運武器組成。武器將晶片移動到處理器之間,確保晶片在運輸過程中保持安全。ASYST SPARTAN可以支持直徑最大為8英寸的晶片。處理程序也可以編程為運行定制的模具和晶圓測試程序。SPARTAN附有開放式架構計算機,允許用戶進行各種編程更改,以適應其流程的需要。除硬件外,ASYST/PST SPARTAN還配備了直觀的軟件接口,使得編程處理程序相對簡單。該軟件包括一個常用的模具和程序庫,以及一個用於定制模具和程序的模具編輯器。該軟件還具有診斷圖形和聯機幫助機。PST SPARTAN非常可靠,具有自我診斷工具和自動恢復例程,以確保處理程序的平穩運行。ASYST SPARTAN具有3年保修,能耗低,效率更高。SPARTAN是晶圓高容量、高效運輸和加工的絕佳選擇。
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