二手 ASYST / PST SPARTAN #9386363 待售

ASYST/PST SPARTAN是一種晶圓處理程序,旨在幫助自動和手動晶圓處理應用程序。該設備配備了一系列機器人和其他組件，以方便過程。它可以用於晶圓拾取和放置、晶圓鍵合、晶圓傳遞、晶圓單化等過程。自動晶圓處理系統具有三種類型的機器人：Scara機器人、X-Y笛卡爾機器人和Delta機器人。這些都配備了先進的控制技術，可以處理數百個直徑達200毫米的晶圓。Scara機器人能夠一次攜帶多個晶片，而X-Y笛卡爾機器人能夠進行微調，以確保晶片在處理過程中的準確定位。Delta機器人是一種多功能機器人，可以處理多種流程。該單元還包括一臺配備3個CCD攝像機的視覺機器和一個探測物體的照明工具。這使資產能夠識別基板上的圖樣和形狀並識別各種晶圓。它也作為自動晶圓處理模型的骨幹。視覺設備能夠在移交給下遊工藝之前評估晶片上的缺陷水平。除了機器人和視覺系統外，系統還配備了多種傳感功能和傳感器。這些包括紅外和激光傳感器，以及壓力傳感器。傳感功能用於向操作員提供有關晶片相對於設備中機器人和其他組件的位置的反饋。這樣做是為了確保處理晶片時的準確性和效率。此外，自動晶圓處理機還設有晶圓放置和處理裝置。該單元包含一個可調節的基板夾具和一個線性微執行器來精確移動和保持晶圓。還有微型開關和其他基於電路的元件來檢測信號和控制工具的操作。實際上，PST SPARTAN是一種完全自動化和可靠的晶圓處理資產。這種模式靈活，可以定制，以滿足客戶的具體需求。它旨在為晶圓傳輸和其他處理操作提供高精度和可靠的結果。設備配備了全面的安全功能，為自動晶圓處理提供了完整的解決方案。