二手 ASYST R150 9701 4314-01 #143140 待售

ASYST R150 9701 4314-01晶圓處理程序是一種自動化組件,設計用於半導體制造機械中的傳輸、進給和處理晶圓。它具有旋轉工作臺系統，提供精確放置和去除基板和其他模具半導體晶片所需的運動。其直立框架支持一對直線導軌和四個伺服驅動的直線執行器，每角一個。這種布置為晶圓提供了可靠準確的雙排角傳遞。轉移晶片的角度可在90度內調節，分辨率為0.5度。R150通過直觀的手持教學吊墜控制。教學掛件有一個用戶界面，具有各種參數和數據訪問工具。R150晶圓處理程序的功能包括晶圓對準、晶圓旋轉和翻轉以及晶圓調節。該系統通過運動和反饋相結合，實現了精細分辨率的精確定位。該R150還利用線性執行器反饋。所有線性執行器提供1微米分辨率的位置反饋數據。這種先進的反饋水平允許各種晶圓大小和形狀的精確對齊。該R150可在溫度在10°C至40°C、相對濕度在20%至80%的環境中操作。其不銹鋼框架采用重型部件構造，適合在半導體生產線等廣泛的粉塵和腐蝕性環境中耐用運行。R150晶片處理程序的總體設計確保了平穩的操作,並確保所有晶片都牢固地保持在適當的位置,從而防止由於移動或轉移而造成的任何潛在損壞。因此，它是大體積半導體制造工藝的可靠解決方案。