二手 ASYST SAS 01CS #9301743 待售

ASYST SAS 01CS是一種多平臺晶圓處理設備，設計用於微型半導體制造的後端過程集成。該系統是為完全定制而構建的,提供了根據客戶需求配置和重新配置產品的靈活性。SAS 01CS由三個核心組件組成：應用控制器、媒體盒和機器人。它基於公司的運動測序技術,使設備能夠以更高的精度和生產率提供智能晶圓處理解決方案。應用控制器是機器的核心，提供機器人活動的智能和控制。它支持多種編程語言，如機器人語言和階梯邏輯。它具有許多內置功能，包括用於精度和過程可靠性的變速工具，以及用於優化機器人操作的高度靈活的調度資產。Media Box組件用於存儲和傳送盒式磁帶和基板。它配有一個四向定位器，在拾取並放入晶圓口袋陣列之前，準確定位盒式磁帶和基板。它可以支持Robofox和Cassette-less基板處理。ASYST SAS 01CS Robot是一種6軸機械臂，旨在執行精確的可重復運動。它具有高速、靈活的運動保證其精密球螺桿驅動模型。其運動控制由兩軸加速度/減速控制輔助。機器人還配備了多個工具更換器，用於尋址各種晶圓尺寸和設計，以及各種設備檢測器。SAS 01CS是一種高度可靠的晶圓處理程序,專為動態全天候處理環境而設計。它的高生產率、更高的精度、與各種半導體工藝的兼容性以及用戶友好的設計使其成為半導體織物的絕佳選擇。