二手 ASYST SMIF 300 WMS #162781 待售

ASYST SMIF 300 WMS（晶圓管理系統）是一種高精度、模塊化且經濟實惠的晶圓處理系統,旨在處理直徑達300毫米的晶圓。它非常適合前端和後端晶圓處理應用在多個行業，包括半導體，數據存儲，MEMS，和光伏。SMIF 300 WMS由一個主機箱、一個控制器和幾個安裝在機箱內的模塊組成。主機箱包含一個兼容西門子的電源、一個配電板、一個可移動的底板以及幾個用於附加模塊的安裝板。控制器包括觸摸敏感輸入設備，方便用戶操作。ASYST SMIF 300 WMS的晶圓處理能力通過幾個模塊提供。晶圓傳輸模塊（WTM）用於在晶圓磁盤的不同運行階段之間精確移動晶圓磁盤。3-Axis自動定位（3AX）模塊提供三維定位功能，而遠程傳感器工具（RST）模塊支持使用條形碼讀取器和激光掃描儀。真空控制模塊（VCM）提供壓力和真空控制功能。SMIF 300 WMS設計具有高精度和可重復性,以確保可靠的數據和產品質量。它的模塊化結構允許定制配置以滿足特定的客戶要求。此外,它的專有接口使與現有系統的集成變得簡單明了。ASYST SMIF 300 WMS強大的設計,在惡劣的環境中運行可靠.它符合CE EMC、CE LVD和IEC 61000-4-2安全要求,並已通過UL、CE和C-Tik認證。該系統具有模塊化結構和獨立診斷功能的液晶屏，易於維護和故障排除。SMIF 300 WMS是一款最先進的晶圓處理程序,可提供卓越的靈活性和吞吐量,以滿足許多行業的苛刻要求。ASYST SMIF 300 WMS具有高精度功能、模塊化結構和專有接口,是需要精確可靠的晶圓處理的應用程序的絕佳選擇。