二手 ASYST SMIF-300FL #121297 待售

ASYST SMIF-300FL晶片處理器是一種全自動、緊湊且高度可靠的設備,用於半導體工業生產集成電路。它旨在促進晶片在特殊工藝室和晶片負載端口之間的移動。ASYST SMIF 300FL配備6軸機械臂,其中包含一個封裝臂、兩個線性執行器、3個底板和一個3軸楔形工具卡盤。在X、Y和Z運動方向上,線性執行器在+/-.003mm的精度範圍內提供精確的移動和控制。機械臂有效達到300毫米，最大載重量6公斤。3個底板提供了一個平緩而牢固的底面，以便在每個操作周期中輕松地傳輸和容納多達6個晶片。3軸卡盤能夠平滑地去除、運輸和放置小而細膩的晶片和其他基材，而溫度可以維持在20-40攝氏度之間。SMIF 300 FL還通過其遠程配方控制、可擴展性和多個流程室連接選項提供了增強的流程靈活性。ASYST SMIF 300 FL除了具有強大的控制能力外,還包括提供無與倫比的操作簡潔性的多功能集成解決方案,以及全方位的安全功能和保護措施。該系統利用基於Windows的5級安全體系結構進行安全操作和可靠的過程控制。這一體系結構確保檢測潛在的安全問題，並防止可能導致過程汙染的任何操作或單元故障。此外,SMIF 300FL還具有直觀的用戶界面、功能強大但直觀的可編程邏輯控制器、觸摸屏功能以及針對各種流程（如清潔、PVD、CVD、光刻等）的定制流程集成包。控制器的開放式體系結構提供了靈活的部署、軟件可擴展性和強大的生產能力。SMIF-300FL專為方便訪問和維護而設計,因此無需安裝任何升級或更換部件。所有這些功能都使晶圓處理機達到了新的高度，使其成為半導體工業的無與倫比的選擇。總之，ASYST SMIF-300FL是半導體行業晶圓處理的可靠而有力的選擇。ASYST SMIF憑借其6軸機械臂、3個底板、3軸卡盤、堅固的安全體系結構、直觀的用戶界面和過程集成軟件包,300FL提供了高效且經濟實惠的晶圓傳輸和過程解決方案。