二手 ASYST SMIF-300FL #293651670 待售

ASYST SMIF-300FL是一種最先進的晶圓處理器,旨在滿足半導體晶圓加工的高要求。它利用元件和跨功能子系統的靈活配置來自動化半導體晶片的傳輸、對準和加載過程。組件包括RCU（Robot Control Unit）、晶圓處理器和離線電梯設備。RCU是主要的控制系統，用來控制晶圓處理器的移動和循環晶圓通過傳輸、對準和加載過程。它由基於微處理器的PLC（可編程邏輯控制器）和通信模塊組成。PLC用於控制晶圓處理程序的運動，如晶圓傳輸定位、對準和加載。通信模塊用於在機器人控制單元和主機控制器之間傳輸數據，允許自動監控流程、機器狀態和錯誤報告。晶圓處理程序是一種自動化機器,用於將晶圓傳輸、對齊和加載到刀具中。它配備了多種組件，包括各端盤、機器人臂、氣動操控臂和傳感器。各端盤用於抓握晶片並將其移動到位以進行加載和傳輸。然後使用機器人臂將晶片與目標表面對齊並將其加載到工具中。氣動處理臂用於管理晶片處理器內的晶片,確保晶片傳輸的安全閉合和裝載的安全對準。然後，傳感器確保晶片與目標表面正確對準，並向機器人控制工具提供反饋，以持續監測過程。ASYST SMIF 300FL還具有用於工具集成的高級且易於安裝的離線電梯資產。它包括一個可調節的電梯平臺和真空適配器，允許無縫和高效集成的工具模型。電梯可方便編程，上下移動垂直裝卸設備，將水平換乘系統移入和移出位置，提供最大靈活性和與多種工具集成的便捷方式。SMIF 300 FL晶片處理程序能夠以高效、準確的方式傳輸、對準和加載半導體晶片。其廣泛的元件，加上先進且易於安裝的離線升降機單元，使得它可以方便地集成到幾乎任何一臺刀具機中，使其成為滿足半導體晶圓加工復雜需求的理想選擇。