二手 ASYST SMIF-300FL #293653971 待售

ASYST SMIF-300FL Wafer Handler是一種先進的晶圓處理設備,旨在顯著提高晶圓處理在半導體制造過程中的效率和精度。它設計用於處理直徑達200 mm的晶片,具有集成運動控制、高通量、低間隙和幹擾設計以及明亮照明系統等多種功能。該裝置是為最大吞吐量而設計的，包括一個高效的彎曲臂，一次最多可精確對準和移動三個晶片。ASYST SMIF 300FL晶圓處理程序配備了能夠進行多軸控制的彎曲臂,從而在晶圓處理任務中實現了高度的對準精度和靈活性。手臂上裝有一個晶圓升降器和一個真空吸盤，允許處理程序一次拾取和運輸多達三個晶圓。該機還包括一個明亮的LED照明工具，以方便精確對準和盡量減少在處理精細晶片錯誤。SMIF 300 FL中的運動控制資產具有多種功能,旨在提供最大的吞吐量和準確性。處理程序可以使用許多可編程的速度,從而在處理晶片時實現最佳的靈活性。可以將臂設置為在定義的範圍內旋轉、在定義的範圍內線性移動或沿著自動路徑移動,從而在半導體處理中實現最大的靈活性和吞吐量。該模型還具有較低的間隙和幹擾設計，允許晶片之間的幹擾和汙染最小。晶圓傳輸機構可以在傳輸目標的65 µm內停止，允許精確的晶圓處理。此外，處理程序有一個內置的主動阻尼設備，這有助於減少晶圓和處理程序的手臂之間的相互作用，盡量減少機械振動的風險和損壞細膩晶圓。SMIF-300FL Wafer Handler是一個先進且用途廣泛的系統,它為半導體制造過程提供了高度的精確度、吞吐量和靈活性。它能夠處理直徑達200毫米的晶片，配有高精度的彎曲臂，並配有明亮的LED照明單元。它還具有減少汙染的低間隙和幹擾設計、減少晶圓振動的內置主動阻尼機以及具有可編程速度的最大吞吐量的運動控制工具。