二手 ASYST SMIF-300FL #9008182 待售

ASYST SMIF-300FL是一種高性能晶片處理設備，設計用於半導體及其他相關行業的多個晶片的自動化裝卸。自動處理系統有手動和自動兩種版本,可提供雙區域加載功能。手動裝置使用單級機器人裝載、運輸和卸載多達300毫米（12英寸）晶圓。自動機器采用三種機器人機制，提供多種傳輸能力，允許多個晶片在同一區域內移動。該工具具有很高的吞吐量和精度，最大機器人速度為180毫米/秒，可重復性為1 μ米。堅固耐用的設計能夠處理各種晶圓尺寸和厚度高達300毫米（12英寸）,重量可達180克。它還具有低汙染設計,提供一致的清潔度和確保產品保護。這種低汙染操作提供了在制造敏感裝置時盡量減少粒子產生的能力。該資產的設計便於維護和靈活性。多軸設計允許機器人快速輕松的移動，旋轉能力允許晶圓旋轉。標準配置允許輕松訪問所有內部組件,從而能夠更換部件以減少維護和維修時間。調整驅動器參數的容量允許模型自動化以滿足用戶的特定要求。ASYST SMIF 300FL與大多數行業標準材料兼容，包括平板顯示器（FPD）玻璃基板和剛性晶圓。它也符合各種機械標準，包括晶圓處理的JEDEC和IEC標準。該設備被設計成可集成到大多數生產設施中，並能夠進行氣態處理，包括蒸氣相回流、濺射、拋光和離子註入。這種高性能的晶圓處理系統能夠為多個晶圓的處理提供高吞吐量和精度。SMIF 300 FL具有強大的設計和低汙染操作,非常適合半導體和電子行業的自動化生產過程。