二手 ASYST SMIF-300FL #9023346 待售
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ID: 9023346
優質的: 2002
Wafer load port
Model no. SMIF-300FL, S3, 25 WFR
Part no. 9750-2000-00 rev 013
2002 vintage.
ASYST SMIF-300FL晶片處理程序是一種自動化晶片處理系統,旨在管理半導體制造過程中晶片的大容量裝卸。ASYST SMIF 300FL具有用於快速晶圓交換的快速更改拾取模塊、集成的晶圓擦洗功能以及用於晶圓取向確定的高級原位掃描功能。SMIF 300 FL能夠以300 mm、200 mm或150 mm的配置處理和覆蓋配置的晶片。它旨在以每秒300毫米的速度有效地移動厚度達1毫米、直徑達40毫米的晶片。此外,ASYST SMIF 300 FL還具有自動確定晶片方向和檢測損壞晶片的功能.SMIF-300FL具有高度模塊化的設計,允許靈活的配置。它可以與現有的設備如爐子、掃描儀或計量工具配對。此外,系統的模塊化方法還可以方便地進行升級,例如集成額外的晶圓盒帶、FOUP和機器人。SMIF 300FL晶片處理程序適用於一系列晶片制造過程。例如,它可以容納未經處理的晶片洗滌、成像和清潔,以及分選、epi-etching和金屬前沈積過程。ASYST SMIF-300FL還考慮了安全性,並具有多種內置的安全保護功能。ASYST SMIF 300FL是一種先進可靠的晶圓處理系統,它可以消除復雜晶圓配置的處理和傳輸帶來的困難和安全風險。它是高通量生產環境的理想選擇,提供前所未有的安全性和效率。
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