二手 ASYST SMIF-300FL #9255535 待售
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ASYST SMIF-300FL是一款先進的晶圓處理器,專為半導體制造設施的高級用途而設計。該裝置是為精確操作而設計的,其組件設計用於處理各種基材和材料。它是一種兩級設備,可以安全、準確地將晶片送入和送出加工站。300 FL的主要部件是垂直升力,可以編程使晶片精確定位到所需的高度和運輸水平。此升降機由伺服電動機驅動,並由獨特的滾珠螺桿機構支撐,以確保平穩運行。另外,導軌設計為提供隔振,使晶片在運輸過程中不受外部振動的影響。該300FL還配備了定制設計的平臺安全防護裝置,以保護晶片在運輸途中不會意外接觸。這種保護使用一系列傳感器和接近開關來檢測運動,並自動關閉任何涉及晶圓處理程序的操作,以防止損壞。ASYST SMIF 300FL還具有一些其他功能,可幫助確保安全高效的操作。例如,可以將軌道對準編程為與電動機驅動軸分離,以使晶片不受電動機運動或扭矩的影響。該系統還有一個集成真空和空氣單元,利用正氣壓在不同載波之間或工具與晶片處理器之間高效處理晶片。SMIF 300 FL還具有一臺先進的數據控制機,可在晶圓的整個處理時間內輕松監控其位置。這允許持續控制晶片的軌跡,以及隨著時間的推移修改和調整其處理參數的能力。總體而言,SMIF-300FL是為半導體制造設施設計的先進、可靠的晶圓處理器。它具有精確的電動升降機、定制的安全防護裝置和強大的數據控制工具。結合這些功能,可確保處理站之間晶片的準確、安全和高效處理。
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