二手 ASYST SPC 01CS #9301460 待售
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ASYST SPC 01CS Wafer Handler是一種功能強大且可靠的晶片處理儀器,旨在最大限度地提高自動化和半自動化晶片處理應用的吞吐量和性能。SPC 01CS能夠處理300 mm以下的各種晶圓,在低溫和高溫操作環境中同樣有效。該裝置采用耐用、低維護的不銹鋼底盤,即使在最艱難的生產環境中也能提供最大的耐用性和耐腐蝕性。該設備采用可編程的雙軸控制器和直觀的圖形用戶界面,便於控制和監控系統的運動。ASYST SPC 01CS具有兩個獨立的模具沖突檢測系統。第一個單元監視晶片的移動以檢測與晶片分選工具的任何沖突。第二臺機器跟蹤晶片分選器對齊補丁,以檢測晶片對齊器與分選器模具之間的差異。晶圓處理程序采用擠壓鋁制工作臺設計,在晶圓和工作臺表面之間提供最小的熱傳遞。該表由電機驅動,確保晶片平穩平穩地運動,同時最大限度地減少滑動和其他傳熱源。此外,該表還具有熱控制功能,允許在SPC 01CS上安全處理耐熱部件。該裝置還配備了真空監測工具,在真空噴嘴上使用一片聚酰亞胺薄膜檢測真空密封的任何不規則性。這樣可以確保晶片在傳輸過程中保持最佳狀態。最後,晶圓處理程序配備了復雜的安全資產,可提供多種冗余級別。該型號具有緊急停止電路,以及大容量設備監控器,以確保所有安全功能正常運行。ASYST SPC 01CS是一款出色的晶圓處理程序,可在各種晶圓處理應用程序中實現最大的正常運行時間和性能。它耐用的結構和直觀的控制使其成為最苛刻環境中可靠性和安全性的理想選擇。
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