二手 ASYST UTMF 5000 #9055564 待售

ASYST UTMF 5000
ID: 9055564
Wafer handling robot.
ASYST UTMF 5000晶圓處理程序是一種通用、計算機控制的晶圓處理設備,開發用於各種行業。它旨在為自動晶片處理任務提供可靠、高性能的解決方案,如加載、卸載和分選晶片。該系統配有晶圓箱、可調傾斜框架、單臂機器人、可調升力和集成控制單元。晶圓箱的設計可容納多達五個標準200毫米晶圓,從而實現大容量吞吐量。可調傾斜框架設計用於在加載或處理過程中精確定位和定向晶片,而單臂機器人則提供精確且可重復的晶片運動。可調升力提供一定範圍的升力角度,以確保在裝卸周期中晶圓接觸最大。集成控制機用戶友好,專為實時過程控制而設計。它能夠控制多達四個晶圓處理系統,並提供用戶可編程界面、自動故障校正和以太網接口等高級功能。該工具還具有多種傳感器,用於監測晶片加載平臺的運動和位置,以及環境中的溫度和濕度。UTMF 5000提供了完整的安全功能,並使用互鎖資產防止機械臂意外撞擊或損壞任何物體。它是由耐用材料制成的,設計可以持續使用多年。最後,該模型包括一系列運動診斷和性能記錄器,以實現設備優化和故障排除。
還沒有評論