二手 ASYST VersaPort 2200 STD #9043893 待售

ASYST VersaPort 2200 STD是一款晶圓處理程序，設計用於高精度機器人晶圓裝卸。它能夠在25毫米高的盒式磁帶托架上處理從2英寸到8英寸不等的各種晶圓尺寸。此自動化平臺使用戶能夠創建自定義工作流,以在進程單元中傳輸晶圓。其先進的機器人運動控制技術允許晶圓定心精度為+/-0.03毫米，速度高達0.35米/秒。它具有內置的「短運行」功能,使用戶能夠快速調整機器人運動路徑,以補償短晶圓或盒式磁帶大小的錯誤。這保證了晶圓在操作過程中的成功傳輸。其可靠和可維護的設計確保了準確和可重復的機器人運動以及最小的停機時間。其所有部件都內置了安全聯鎖，以保護用戶和設備免受潛在汙染。可選的氣體凈化系統在裝卸過程中提供保護性氣體屏障，有助於保持潔凈室環境。VersaPort 2200獨特的設計使它能夠在晶圓晶圓廠環境中以最小的占地面積運行。它包括兩個電動線性機器人臂，一個晶圓車和一個支撐框架。兩個機器人臂同時沿著x和y軸的線性導軌移動。可選的數據采集接口還提供了數據記錄和可追蹤性。為了保證高性能,VersaPort 2200專為快速輕松地安裝而設計,同時降低了維護成本。它內置了為真空耦合提供氣動能量的泵和晶片，用於可靠的晶片定心和處理。所有部件都有防塵和防水功能,以確保在惡劣環境中可靠運行。綜上所述,VersaPort 2200 STD是一個高性能晶圓處理系統,具有先進的機器人運動控制技術和內置的安全功能。它與現有晶圓廠流程和設備的互操作性使產品上市時間更快,擁有成本更低。VersaPort 2200晶片定心精度高,操作可靠,使用壽命長,是晶片制造的理想選擇。