二手 ASYST VersaPort 2200 #293727855 待售

ASYST VersaPort 2200是一款高速晶圓處理器，設計用於300 mm和200 mm半導體制造工藝。它提供多種特性和功能,以實現高效可靠的晶圓處理。VersaPort 2200具有6軸SCARA（選擇性合規性裝配機器人臂）機器人臂,該臂已針對清潔室和過程自動化應用進行了優化。機器人手臂以高達2300毫米/秒的速度移動,可重復性為± 5微米,使其能夠顯著提高半導體制造過程的吞吐量。完全可編程的運動控制平臺允許運動參數和測序之間的緊密協調。集成視覺設備可以準確定位和識別各種組件,包括晶圓、盒式磁帶和載波。卡帶/托架位置是在機器人手臂的內存中預先定義的,從而無需手動加載。ASYST VersaPort 2200通過簡單的拖放配置提供直觀的晶圓處理工作流,以提高操作員效率。該單位有一個內置的安全系統，監測單位的運作和狀況，以發現危險情況並采取適當的回收措施。該設備的開放式體系結構可輕松集成各種半導體前端和後端設備。為了確保未來生產過程要求的兼容性,ASYST提供了多種軟件選項來自定義VersaPort 2200。這包括新的GUI接口,它允許從任何標準計算機輕松使用。該機符合SEMI E94-9342標準的晶片處理和加工.此外,ASYST VersaPort 2200符合RoHS標準。VersaPort 2200是一種靈活可靠的半導體工藝自動化晶圓處理解決方案。其強大的運動控制平臺、集成視覺工具、直觀的用戶界面和開放式體系結構使流程自動化工程師能夠在吞吐量方面獲得顯著改進。其用戶友好的設計、集成的安全資產以及與SEMI E94-9342標準的兼容性，使其成為半導體晶圓處理操作的理想選擇。