二手 ASYST VersaPort 2200 #293748864 待售

ASYST VersaPort 2200是為後端半導體工藝設計的全自動晶圓處理設備。它設計用於在直徑從2英寸到6英寸（50mm-150mm）的各種晶圓尺寸上每小時處理多達200個晶圓。它具有直觀的觸摸屏界面,可引導用戶完成設置、自動晶圓識別、傳輸和機器人移動。VersaPort 2200配備了兩個集成機器人設備：真空機器人（VR）和移動板機器人（MBR）。真空機器人在傳輸晶片時保證了很高的重復性和準確性。VR包含用於連接到多個晶片源的大型IO端口,從而允許快速傳輸時間和最小的停機時間。移動板機器人（MBR）利用三重真空環境來確保晶圓的正確放置並實現高速晶圓傳輸。ASYST VersaPort 2200強大的晶圓處理技術確保了安全性和可靠性。晶圓傳感和卡紙檢測通過集成光簾提供。此外，它的精確負載平面器編程使系統能夠識別和處理多種晶圓類型和大小。軟件控制選項（如其晶圓控制中心和SmartRecipe Tool）提供了對其整個操作的精確控制。這個先進的晶圓處理單元還配備了一系列可選的附件,以方便用戶使用。這些附件包括用於存儲和處理多個晶圓的晶圓托盤機，以及用於在輸送機工具上固定晶圓托盤的晶圓卡盤。VersaPort 2200還具有不斷擴展的兼容組件和工具庫,允許以最小的停機時間集成多個進程。ASYST VersaPort 2200是一種可靠、精確的晶圓處理資產,旨在滿足後端流程的嚴格要求。其先進的自動化和控制能力確保了平穩的操作和可靠的晶圓傳輸。VersaPort 2200具有直觀的用戶界面、可調節的附件選項和不斷擴展的兼容組件庫,非常適合要求最苛刻的半導體生產環境。