二手 ASYST VersaPort 2200 #9211544 待售

ASYST VersaPort 2200是一款全自動晶片處理程序，旨在方便半導體行業晶片的裝卸和轉移。其設計允許晶圓處理操作和吞吐量時間的最佳自動化和靈活性。VersaPort 2200最多可容納200個晶圓,存儲在最多20個盒式磁帶中。它具有集成的攝像頭和基於視覺的識別系統,能夠準確識別和排序晶片,實現零件的可追蹤性,並優化工具套件以實現大批量生產。相機還能夠測量晶片進行精確處理，軟件可以針對特定應用進行進一步定制。ASYST VersaPort 2200配備了兩個獨立的機械臂，每個臂都可以獨立拾取和放置晶圓。晶圓旋轉特性采用兩個機械臂和一個直線表來保持晶圓的中心並控制其相對位置，從而確保精確的處理和處理。VersaPort還提供靈活和自動化的轉移到各種目標工具，如晶圓測試、CVD、表面準備和主泵站。VersaPort 2200可以高達每分鐘30晶圓的速度運行，專為大批量生產而設計。它的剛性和安全結構旨在最大限度地減少振動和減少循環時間,而其通用體系結構允許輕松集成到現有的自動化框架中,並減少模塊化部件造成的停機時間。ASYST VersaPort 2200還提供了多種附加功能,例如集成的終端效應器、專用的拒絕箱和晶片加載選項,以及遠程診斷功能,這些功能使其成為一個通用且高效的晶片處理程序。