二手 ASYST VersaPort 2200 #9220477 待售

ASYST VersaPort 2200晶圓處理程序是一種機器人設備，在半導體和MEMS測試、組裝和晶圓級封裝操作中自動處理2「和3」晶圓。該系統旨在支持多種晶圓處理操作，包括晶圓探測、分選、映射和清潔，以及檢查和測試，並配備了堅固的超高真空卡盤驅動器。VersaPort由主機箱、流程模塊和智能控制單元組成。主機箱為所有機械功能提供了基礎,因為它包含主驅動機和真空卡盤。流程模塊為工具增加了靈活性和可擴展性,因為它可以為許多不同的應用程序提供不同的晶圓處理工具。VersaPort的智能控制資產借助圖形用戶界面（GUI）方便了模型的設置和修改。VersaPort的設計考慮了操作員。它配備了眾多的安全特性，包括全機械互鎖和可編程安全區設備。此外，由於該系統采用IP65級金屬外殼、HEPA過濾器和氣封機器人臂，因此能夠承受惡劣的生產環境。此單元還提供高精度,利用集成的XYZ軸、XY定位器、線性轉換級和兩軸移動機。這樣就可以在單個工具內對晶圓傳輸、分離和輸送進行全面的精確控制。VersaPort還可實現最高的工作效率。該資產能夠每批處理各種晶片，吞吐量高達每小時200晶片。另外，晶體剛度軸允許更高的加速度，因為它提高了模型的速度和精度。此外,VersaPort占用空間較小,因為它具有模塊化設計和各種可擴展組件。總體而言，VersaPort 2200是一款面向半導體和MEMS生產行業的創新晶圓處理程序，其高精度和吞吐量能力以及可擴展性和安全特性旨在滿足行業的嚴謹需求。