二手 ASYST VersaPort 2200 #9220701 待售

ID: 9220701
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ASYST VersaPort 2200是一款設計用於自動晶圓處理的高性能晶圓處理程序。它能夠處理多達250毫米的晶圓,容量可達500個晶圓。VersaPort 2200利用CAE Arm機制,提供精確的晶圓放置控制。CAE臂配有真空拾取頭,使操作員能夠在VersaPort中將單個晶片切片拾取並精確放置到插槽中。VersaPort還具有廣泛的功能,旨在提供卓越的晶圓處理能力,例如晶圓取向、自動對準和晶圓支持。它還配備了一個全自動的卡帶裝載機和卸載機,另一個很大的好處,它使操作員能夠快速準備大批量的晶片進行處理。ASYST VersaPort 2200提供多種工藝功能,包括熱和光學薄膜沈積、光刻、濕蝕刻、幹蝕刻、鈍化和晶片粘合。它還配備了內置的機械臂,減少了疲勞,簡化了操作員的操作。最後,VersaPort 2200設計用於潔凈室環境,因為在必要時可以將其密封以保持無菌環境。它還與各種安全協議兼容,並通過集成安全功能確保100%的安全合規性。總體而言,ASYST VersaPort 2200是一款功能強大的晶圓處理器,旨在加快各種自動化流程。它的各種特性和功能使得它成為任何晶圓制造和加工挑戰的絕佳選擇。
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