二手 ASYST VersaPort 2200 #9230186 待售

ASYST VersaPort 2200是一款精密的晶圓處理器,旨在提供半導體制造過程與執行最終半導體器件生產所需測試的設備之間的平滑、無縫接口。VersaPort 2200的工作原理是在半導體制造過程中實現晶片在不同步驟之間的自動傳輸。ASYST VersaPort 2200由幾個主要組件組成。VersaPort 2200的第一個部件是載波，它是一個用於承載半導體晶圓的模塊化框架。這些托架裝有定心銷，能夠方便地與其他模塊耦合，如自動卡帶、熱工作站、溫度站等。在自動化過程中，載波被裝載到機械臂上，機械臂會將晶片卸載、轉移和重新定位到載波中。ASYST VersaPort 2200的第二個組件是自動卡帶裝載機。該設備的設計目的是快速可靠地將晶片加載到載波和載波中。自動卡帶裝載機有兩種預配置的卡帶類型，可以根據需要手動更換。此外,自動卡帶裝載機具有可調節的插槽大小,以適應各種晶圓大小和厚度,一次最多可裝入500個晶圓。第三個部件是熱工作站，設計用於在特定溫度下「熱抓地力」和轉移晶片，用於制造和測試。熱工作站采用聚焦在晶片上的高強度激光，快速、準確、可靠地進行傳輸。此外,熱工作站的溫度範圍為攝氏0-1000度,以適應不同溫度度的晶片。VersaPort 2200的第四個部件是溫度站，用於在制造或測試過程之前穩定晶圓溫度。溫度站由兩段組成，一個溫控室和一個冷卻劑歧管。溫控室的溫度範圍為-100至+100 °C，有助於保持晶圓的恒定溫度。冷卻劑歧管設計用於向晶片輸送低溫冷卻或熱處理氣體，允許精確的晶片溫度設置。ASYST VersaPort 2200的最後一個組件是機器人模塊。這個模組有能力一次攜帶1到12個晶圓，使得最大容量600個晶圓可以被測試。機器人模塊允許VersaPort 2200的自動能力以及在半導體制造過程中轉移和重新定位晶片的能力。此外,機器人模塊能夠檢測傳輸過程中的錯誤並報告這些錯誤以采取進一步的操作。總體而言,ASYST VersaPort 2200是一款可靠高效的晶圓處理器,可優化半導體制造工藝。VersaPort 2200具有根據溫度快速準確傳輸晶片的能力。此外,ASYST VersaPort 2200還有助於最大限度地提高晶圓測試和制造的吞吐量。