二手 ASYST VersaPort #293587537 待售

ASYST VersaPort
ID: 293587537
SMIF Load port.
ASYST VersaPort是一款先進的晶圓處理器,旨在降低成本、提高吞吐量並實現半導體和光電子生產的高水平自動化。VersaPort能夠處理直徑不超過12英寸的晶片,為各種晶片尺寸和工藝提供了靈活性。它以全自動的方式將晶片從輸入傳輸到輸出並進行處理。ASYST VersaPort由幾個關鍵組件組成,即ASIC(應用特定集成電路)、臂模塊、適配器模塊和外圍接口。ASIC是ASYST Technologies設計工具包的產品,作為VersaPort設備的中央控制邏輯運行。它支持整個系統並滿足用戶的特定需求。手臂模塊是ASYST VersaPort的重要組成部分。它為機械臂提供了一個關節連接的末端效應器,使其能夠移動、旋轉和操縱晶片。適配器模塊提供了一個在使用時安全地安裝晶片的平臺,並允許在其連接器之間輕松交換晶片。此外,還可用於與外部機床集成,如離子植入器、CVD濺射系統、固化爐和測繪工具。外圍設備接口是VersaPort的最後一個主要組件。它充當ASYST VersaPort與視覺系統、映射工具和打印機等外圍設備之間的連接。該接口與臂電動機協同工作,可方便地集成這些設備和遠程監控晶圓的生產。VersaPort的當前叠代提供了一些附加功能,如終端效應器互換性(EEI),它允許快速、輕松地交換終端效應器,以適應不同的晶圓大小、布局、幾何形狀和過程。EEI還由於方便的維護和可維護性而減少了停機時間。該單元也是高度模塊化和可配置的,允許靈活和擴展機器與用戶的需求。除ASYST VersaPort核心組件外,ASYST還提供其他附件產品,以進一步定制VersaPort以滿足特定的生產需求。ASYST Technologies ASYST VersaPort晶圓處理程序是高吞吐量和經濟高效晶圓生產的終極解決方案。其先進的工程設計、專用配件和可配置性使其成為尋求自動化和準確方法來處理大量晶片和基材的公司的絕佳選擇。
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