二手 ASYST VersaPort #293600170 待售
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ASYST VersaPort是一款晶圓處理程序,旨在提供集成的單位置機器人設備,以滿足半導體行業中許多晶圓處理應用程序的需求。VersaPort既具有挑選功能,又具有高水平的靈活性和可擴展性,可滿足不斷變化的過程和生產要求。ASYST VersaPort系統由幾個主要組件組成,包括機器人、控制器和多個用於外圍設備連接的模塊。VersaPort機器人，又稱鉸接式機器人臂，是一種多用途、高速的機器人單元，可以自主和適應性地發揮作用。它的控制器是一個集成了多軸運動控制、路徑控制、配方管理和機器人命令執行的模塊化運動控制器，集成到一個單一的層次控制機中。其外圍連接模塊使ASYST VersaPort工具能夠與各種晶圓設備和組件接口,如旋轉管、翻轉管以及拾取和放置卡盤。VersaPort使用先進的機器人視覺系統來檢查、識別和準確快速地將晶片放入和退出盒式磁帶插槽。ASYST VersaPort還具有負載鎖定功能和真空管理功能,以確保晶圓在傳輸過程中不會逸出或損壞。此外,VersaPort還配備了集成傳感器和安全系統,以降低資產故障風險。傳感器檢測和監視機器人區域中的狀況,例如模型應力和負載,從而允許機器人在發生緊急情況時關閉或重新布線。安全系統包括集成的門鎖設備和緊急停止按鈕。ASYST VersaPort配備了強大的軟件和編程設施來支持自動晶圓處理應用程序。它具有全面的運動編程能力，多級控制，參數和定義，高級配方控制，以及可互換的程序序列。此外,VersaPort可以針對不同的流程和應用程序輕松重新配置。ASYST VersaPort是一個通用的高速機器人系統,適用於各種晶圓處理應用程序,提供了令人印象深刻的靈活性和可擴展性。它將自動運動、視覺檢查和安全系統結合到一個單一位置的解決方案中。VersaPort是一款可靠、高效的晶圓處理程序,能夠快速、準確地運行,且產量高.
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