二手 ASYST VersaPort #9167556 待售

ASYST VersaPort是一款先進的晶圓處理程序,旨在提高晶圓處理的速度和精度。它是一種緊湊、移動的設備，既適合實驗應用，也適合工業應用。它結合了高度自動化和靈活性,以適應各種配置。VersaPort系統最多可處理200毫米晶圓,最多可處理250毫米,並具有用於敏感作業的內置N2-purge選項。它還具有先進的晶片等溫環境以保持恒溫，這對於晶片加工的成功至關重要。通用單元提供了一系列功能，包括自動晶片夾緊和加載，晶片的自動對準和分級，以及集成的預處理檢查。它還具有確保晶圓優化的集成視覺能力和用於監測晶圓位置的內部晶圓電機，以及復雜的移動控制。這臺機器能夠在整個晶圓處理周期內實現自動化。它根據需要提供準確、可重復的定位和移動,以及可重復的測量和晶圓對準。該工具還旨在減少人工幹預,提高操作效率,同時提高資產可靠性。ASYST VersaPort由高性能軟件工具、工具集和庫支持,允許用戶在維護模型安全性的同時完全自定義其操作。它有一個支持包,其中包括技術支持和培訓、服務包以及最新的軟件更新。最後,VersaPort設備提供了一系列全面的安全和合規性功能。它設計有一套全面的安全和合規性規定，包括激光和晶圓汙染保護，以及潔凈室級用戶和機器界面。該系統還具有用於處理敏感晶片的多個隔離通道。總之，ASYST VersaPort是一個功能強大、用途廣泛的晶圓處理單元，可以處理各種晶圓大小和類型。它提供了一系列功能和功能,以確保高效和準確的處理,包括自動對齊和分期、流程前檢查以及一系列安全和合規性功能。