二手 ASYST VersaPort #9213041 待售

ASYST VersaPort是一個晶圓處理程序,旨在為各種應用程序提供快速高效的生產。VersaPort是一種單件式多站晶圓傳輸設備,可提供倒置和水平方向的精度和可靠性。它可以配置為通過自動或手動加載晶片來支持多個應用程序。ASYST VersaPort利用模塊化系統,允許擴展具有用戶可定義靈活性的單個晶圓處理程序。該單元設計得盡可能小巧，由集中控制硬件機器控制。原位靜電夾具提供運動軸與晶片之間的恒定接觸，以便在轉移過程中精確放置。VersaPort的高級設計和直觀的用戶界面提供了豐富的控件和功能,以確保高效生產。ASYST VersaPort的支持附件可以集成到機器人機體中以提供額外的功能。這包括自動加載鎖定附加組件、預對齊器和緩沖區堆棧。這些附件旨在減少操作VersaPort時的手動處理量。資產還包括負載/卸載臂、晶片卡盤和適配器盤片,它們允許根據應用程序進行多種配置。ASYST VersaPort能夠執行高速分選、高精度設備控制、晶圓傳輸和索引。其精密的視覺模型允許晶圓識別、對準和條形碼讀取性能達到每秒5+晶圓。通過剛性框架設計和非接觸傳感器技術確保了負載穩定性，從而在傳輸過程中保持了晶圓的穩定性。設備還包括環境控制功能，如氮氣凈化、真空轉移和可選電子束控制界面。VersaPort晶圓處理系統允許用戶體驗各種晶圓應用的單個平臺的效率。其強大、緊湊、可靠的設計為晶圓處理需求提供了經濟高效的解決方案。它是可擴展和可定制的，以滿足每個應用程序的特定需求。ASYST VersaPort具有廣泛的功能和附件,以及強大的控制功能,可提高制造效率和吞吐量。