二手 ASYST VersaPort #9219619 待售

ASYST VersaPort是一個晶圓處理程序，旨在提供半導體晶圓的自動化、串聯裝卸。它是一個全自動處理程序,具有很高的吞吐量容量,旨在減少設置時間並最大程度地減少人機交互。VersaPort的設計提供了最大的靈活性,並具有多種流程選項和工具功能。ASYST VersaPort可以處理直徑達200毫米的晶片,每個循環最多可處理15個晶片。它被設計成具有直觀用戶界面的高效晶圓處理解決方案。VersaPort配備了可選的視覺系統,可用於過程控制、晶圓分類和檢查功能。這些視覺系統還可以檢測晶圓劃痕和其他缺陷，從而在過程中實現精確的晶圓處理。ASYST VersaPort能夠與各種流程工具接口,並且可以集成到現有的處理線路中。它能夠在無需人工幹預的情況下將晶片從一個工具傳輸到另一個工具,並且可以配置為在線和離線操作。VersaPort有多個具有高吞吐量和統一性的流程選項。這些工藝選項旨在最大限度地提高吞吐量,並以最小的缺陷產生最高的產量。ASYST VersaPort還配備了先進的機器人設備,能夠為晶片充電、傳輸和取消充電。該系統采用兩級解密裝置，用於加工工具裝卸過程中的精確晶圓處理。機械機采用節能設計，以降低能耗。集成了一個離線可編程軟件界面,以實現快速的流程更改和配方開發。VersaPort配備各種安全機制和功能，確保操作員和晶圓安全。它旨在通過精確對準和自動晶圓處理來減少人為錯誤。其中包括一個綜合視覺工具，用於檢測任何錯位，並為流程校正提供反饋。ASYST VersaPort的直觀用戶界面和高級自動化功能旨在減少停機時間並提高工作效率。