二手 ASYST VersaPort #9277985 待售

ASYST VersaPort是一款機器人晶圓處理程序，設計用於在多站工具之間快速準確地移動半導體晶圓。它利用單一、全自動、多軸機器人加快前端和後端產品的裝卸過程。這使得VersaPort非常適合晶圓吞吐量處理應用程序。ASYST VersaPort為半導體晶圓高速傳輸提供了高精度、重復性和精度。它提供了具有自定義掃描技術的可配置的4軸或6軸設計,從而在幾秒鐘內實現了完全晶圓交換。它具有UltraSmooth®運動控制系統,可確保運動平穩安靜。這是通過在所有軸上同步運動來實現的。處理程序的伺服驅動器和多軸機械臂用戶友好,可通過易於使用的軟件平臺訪問。VersaPort提供了廣泛的功能,可實現精確高效的晶圓處理。這包括一個集成的視覺系統、機械手臂末端工具和多個托盤位置，用於送入各種尺寸的盒式磁帶。其負載端口采用防靜電銷磁密封，以保證安全。該處理程序與直觀的軟件平臺完全集成,可輕松設置各種晶圓大小和類型。ASYST VersaPort還擁有先進的傳感器技術,為高精度處理提供了無與倫比的性能。這種傳感器技術消除了在每次刀具轉移之間進行手動晶圓居中的需要。此外,系統還配備了可調節的噴嘴,可以精確處理各種晶圓尺寸。VersaPort的構建考慮了用戶安全。它集成了上下蓋門、拇指安全開關、燈簾、聯鎖、緊急停止按鈕等幾個安全功能。這樣可確保處理程序始終保持安全。最後,ASYST VersaPort是一款先進可靠的半導體晶圓交換機器人處理器.其用戶友好的軟件平臺、傳感器技術和安全功能使其成為業界最高效、最精確的晶圓處理程序之一。