二手 ASYST VUV-7000 #9162955 待售

ASYST VUV-7000是一個晶圓處理程序,包含先進的自動化功能,旨在為電子、制藥和半導體行業等行業的用戶提供更簡單、更高效的材料運輸和傳輸。該設備具有4個線性運動軸,總行程範圍為11英寸。每個軸線的移動都由集成的伺服設備提供動力,該設備允許極其精確的材料定位和處理。它還包括一個集成真空系統，在使用機械臂時牢固地保存材料。VUV-7000的雙臂結構允許它執行一系列晶圓處理任務，從裝卸到轉移和移動晶圓。機器人對每個軸都有一個獨立的電動機驅動器，這使得它能夠在精確控制晶圓旋轉的情況下進行獨立的操作。機器人定位精度精細0.2mm，6軸能力允許超低扭矩串擾先進主軸耦合。這使得ASYST VUV-7000非常適合要求苛刻的應用,例如半導體制造過程中的高精度材料傳輸。VUV-7000還具有一個集成的晶片級介電測試環路，用於測量晶片在加工過程中的介電特性。環路與高級控制器單元集成，使用戶能夠更高效地監控晶圓性能和加工材料。此外，ASYST VUV-7000能夠處理各種材料，從易碎晶片到真空密封設備。其增強的視覺機使用戶能夠實時監控整個物料傳輸路徑，使他們幾乎可以即時調整機器的位置和運動。VUV-7000還提供了一系列安全功能,包括安全的外殼和鎖定機制。它設計用於惡劣的環境，具有高達50°C的耐溫性。簡而言之,ASYST VUV-7000晶片處理程序是一種先進的自動化解決方案,旨在為各種行業的用戶提供更簡單、更高效的材料運輸和傳輸。其集成的真空工具、6軸性能、介電測試環路和增強的視覺資產都使其非常適合要求苛刻的應用。此外，其安全特性和耐溫性的範圍使得它非常適合惡劣的環境。