二手 ASYST WMS 2200 #293636083 待售

ASYST WMS 2200是一個晶圓處理程序,嵌入了高級晶圓傳輸系統,提供自動晶圓/標線/模具分類、裝卸功能。WMS 2200集成了材料跟蹤、警報管理和業界領先的軟件,提供了卓越的性能。晶圓處理器可擴展且完全配置，占地面積1300mm x 1430mm，寬865mm，高1658mm，最大重量1300kg。ASYST WMS 2200能夠處理各種基材，包括多達八個200 mm晶圓，以及多個標線、模具和面板。它設有兩個自動裝卸系統，每個系統配備兩個獨立的裝載站。WMS 2200還具有兩個標準FOUP（前開口統一吊艙）端口、兩個垂直FOUP端口、兩個低高度FOUP端口和兩個垂直盒式磁帶端口。所有這些端口都支持所有範圍的FOUP大小,包括不同高度的窗格類型,以及不同幾何形狀的門類型。配備先進的晶圓傳輸系統，ASYST WMS 2200還包括一系列內部傳感器和最先進的運動控制。這些控制可確保操作準確可靠,並具有最小的運動抖動,即使在高達32,000毫米/分鐘的最高運行速度下也是如此。傳感器有助於檢測基板變形和對準，確保正確的操作運動，並驗證模具識別信息。WMS 2200還包括廣泛的安全功能，包括機器人門聯鎖控制系統、FOUP門安全裝置和夾具、錯位跳閘區域和軟停止檢測、快速停止檢測以及移動部件的聯鎖和蓋。此外，處理程序還配備了幾個用戶友好的功能，如多級卡帶訪問系統、觸摸屏圖形用戶界面和一系列可調節的參數，用於定制操作。ASYST WMS 2200還包括範圍廣泛的自動實時診斷、參數集和條形碼讀取器系統,以及一系列材料跟蹤數據庫和實用程序,可提高操作的可靠性和靈活性。總之,WMS 2200提供了適用於許多應用程序的完整晶圓處理解決方案,它結合了強大的自動化、高級安全功能和用戶友好的功能,實現了高速、高精度的操作。廣泛的材料處理、跟蹤和過程控制功能使該處理程序成為半導體和光電制造商的首選。