二手 ASYST WMS 2200 #9269343 待售
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ASYST WMS 2200是ASYST Technologies Inc.開發的自動化晶圓處理程序,旨在為研究和生產目的提供高效可靠的晶圓傳輸。設備設有兩個吊艙位置、四個晶片載體,以及一個自動裝卸晶片的轉運室。它的最大吊艙容量為20個25毫米晶圓,晶圓載體根據晶圓的大小最多可容納8個晶圓。該系統還配備了視覺單元,使其能夠實時檢測和識別晶片的取向,確保晶片從載流子精確轉移到吊艙。WMS 2200由真空機器和晶片處理面板構成,用於晶片傳輸的精確和受控壓力,降低了損壞晶片的風險。它結合了兩級真空工具和信號源,使資產能夠檢測和監測氣壓水平。晶片處理面板由可用於傳輸晶片的真空拾音器、檢測晶片方向的傳感器和運動檢測器組成,用於精確傳輸,以及可調節的持有者,以確保控制壓力,用於均勻傳輸。該型號還配備了集成控制設備,使用戶能夠控制晶圓傳輸過程。該控制系統可用於預置多個晶圓傳輸序列,使晶圓傳輸過程自動化。此外,該單元還配備了一個用戶友好界面,用於監測和管理晶圓傳輸過程的狀態。ASYST WMS 2200旨在在廣泛的應用中提供可靠的晶圓傳輸性能。其強大的設計和高精度的功能提供了卓越的性能,使其成為滿足研究和生產需求的理想選擇。其用戶友好的控制機器和廣泛的特性使得WMS 2200適合於各種類型的晶圓傳輸,為晶圓的傳輸提供了穩定可靠的解決方案。
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