二手 BLUE M S05IEU55 #9236617 待售

BLUE M S05IEU55
ID: 9236617
Cure oven.
BLUE M S05IEU55晶片處理程序是一種機器人晶片處理設備,設計用於傳輸和處理各種過程的晶片。該系統能夠在工作站、流程開發中心甚至多種工具之間傳輸晶片,從而實現自動晶片處理的最大靈活性和效率。該單元由一個基本單元、兩個上部升降臂和五個下部導引探頭組成。基座單位尺寸1750毫米乘1150毫米,具有高架工作區。升降臂由液壓驅動,可提升至底座單元上方500毫米。下部導引探頭也是液壓致動的,可以擡高至基座單元上方45°。機器配備了一個6軸機器人手臂,能夠控制多達四個機器人。每個機器人都有自己的參數,允許它單獨或成組移動。機器人手臂可以水平移動到900毫米,垂直移動到600毫米。機器人最大速度為2.5m/sec,基座上方達到範圍1.5m。晶圓處理程序還具有一個自動晶圓交換站,最多可支持兩個不同的幀和八個不同的晶圓大小。交換站配備了集成視覺工具和高質量的圖像處理軟件。此軟件允許使用公差和機器視覺設置精確定位不同大小的晶片。資產還有一個晶圓升降機,可以安全地容納晶圓進行轉移。晶圓升降機的容量高達3500克,能夠自動旋轉至270°而不會損壞晶圓。該型號還與其他設備兼容,如真空閥、力傳感器、集群工具和檢查系統。S05IEU55晶片處理程序采用模塊化設計,額定用於ESD和清潔室環境。該設備設計可靠,運營和維護成本低,並得到各種配件和服務的支持。BLUE M S05IEU55晶片處理程序具有優異的性能,是晶片處理任務自動化的理想選擇。
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