二手 BROOKS 002-0016-34 #293642901 待售

BROOKS 002-0016-34晶圓處理程序是一種多軸精密晶圓處理程序，設計用於自動化半導體設備。此處理程序與各種常見的晶片尺寸兼容,專門用於惡劣、無汙染的環境。該處理器采用先進的真空晶片傳輸技術，能夠以受控、精確的方式移動晶片。晶圓處理器由重型鋁合金框架構成，采用三級伸縮可伸縮臂進行晶圓操縱。機械臂由兩臺步進電機提供動力，能夠提升晶片並將其輸送至1106mm（44in）。手臂使用齒輪和皮帶進行平穩運動，並有一個內置的Jacobs卡盤，用於快速方便的晶圓裝卸。它還配備了分辨率為0.1mm（0.0025英寸）的無觸摸晶片定心設備。002-0016-34晶圓處理程序還具有多軸控制單元,能夠精確控制晶圓的傳輸。這個單元配有一個專用的運動控制板，位於單元的基座上，預編程有各種不同晶圓類型的運動輪廓。用戶能夠根據需要將運動輪廓自定義到特定的晶圓尺寸。晶片處理程序還包含一個光學傳感器,可幫助確保晶片在整個處理過程中保持正確居中。除了多軸控制單元外，BROOKS 002-0016-34晶片處理器還具有先進的真空晶片傳輸系統，使用嵌入式真空源傳輸晶片。該裝置提供安全可靠的真空環境，確保晶片在不同機器人設備之間的安全準確傳輸。真空晶片輸送機還設有一個清除碎屑的工具，防止顆粒和灰塵堆積在晶片上。002-0016-34晶圓處理程序設計為滿足具有挑戰性的制造環境最嚴格的要求。它能夠在高達65°C（150 °F）的溫度和相對濕度降至25%的溫度下運行。該晶片處理程序旨在為在無汙染環境下在不同機器人設備之間運輸晶片提供可靠有效的方法。