二手 BROOKS AquaTran #158153 待售

BROOKS AquaTran是最先進的晶圓處理程序。它設計用於處理任何尺寸可達200 mm x 200 mm的晶片。AquaTran具有低力、低角度傳遞機構以及緊湊、符合人體工程學的設計。設備有一個完全封閉的操作環境，旨在保護晶片免受灰塵、水和其他汙染物的侵害。機箱還可提供熱量管理,並最大程度地降低噪音水平。環境被密封加壓，允許系統在低至1 Torr的真空中運行，以及其他非真空操作環境。BROOKS AquaTran配備了真空負載鎖單元，以盡量減少晶圓處理時間，保護晶圓免受環境汙染。它還配備了靜電電荷監控器，可以檢測晶圓發出的任何靜電荷泄漏。該機設計為提供快速、高效的晶圓處理。它具有高精度定位工具和三軸伺服驅動器資產,以及自動定位模型,可確保精確的晶圓對準和放置。此外，它還配備了先進的氣流設備，用於清潔、低壓工藝和晶片裝載。AquaTran針對溫度控制工藝和光刻系統進行了優化。此外，它還可以被編程為直接控制整個光刻系統，顯著減少人工加工時間。該單元與最先進的晶圓處理和轉移技術兼容，使其能夠與幾乎任何生產單元集成。此外,它還能夠與其他系統（如主機計算機）通信。這確保了BROOKS AquaTran與其他系統之間的無縫集成。最後，這臺機器極其可靠，平均失敗率超過4000小時。這樣可以確保最大吞吐量、產量和質量控制。