二手 BROOKS AUTOMATION 002-0790-05 #9386156 待售

ID: 9386156
Wafer handling robot.
BROOKS AUTOMATION 002-0790-05晶片處理器是一種精密控制的處理設備,提供高水平的晶片級處理生產效率。此自動化設備旨在為客戶提供能夠生產出優質產品的自動化流程。晶圓處理器采用不銹鋼結構,具有非磁性驅動系統和高精度,可重復性為5µm。它能夠處理200毫米和150毫米晶片與陽極氧化鋁方式單元,以平滑運動控制。晶片處理程序具有水平同步的Z級和XY級,設計用於在處理步驟中精確定位和操作晶片。這些級的運動控制由獨立的運動控制面板提供,提供可靠的精度和可重復的運動。這個晶片處理程序還具有一個旨在減少靜電的防靜電發電機,以及一個在過程中幫助保持清潔幹燥氮的氮氣凈化機。此外,這種自動化設備的集成設計還建有多種安全特性。這包括一個E-stop工具、互鎖和完全封閉的門系統,所有這些系統都旨在幫助保護工人和操作員免受任何潛在危險情況的影響。再者,晶圓處理器也有多種傳感器作為後盾,包括壓力傳感器、溫度傳感器和濕度傳感器,便於監控過程。總體而言,002-0790-05晶片處理程序是自動晶片處理和處理的完美解決方案。其精密控制資產提供了高水平的生產效率,而其集成的安全功能為其工人和操作員提供了充足的保護。
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