二手 BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A #9292367 待售

BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A是一款高性能晶片處理程序，旨在提供自動化、精確、快速的晶片移動和控制。它提供精密、精細運動控制和自動晶圓處理的組合。它旨在滿足半導體行業的關鍵晶圓處理要求。002-1099-02 REV晶片處理器具有低輪廓結構,單垂直柱和上下元件,可提高穩定性和機動性。垂直柱控制晶圓的運動，以確保準確精確的定位。它利用配備扭矩電機的機械臂實現手動和自動握持、移動和縮回功能。機械臂具有內部無刷直流（BLDC）電機,可實現高速和加速性能。晶圓處理器還具有獨特的三軸操作，允許最多三個晶圓同時操作。每個軸都有一個帶驅動的旋轉執行器和一個集成的編碼器和馬達。編碼器提供0.05mm的分辨率，用於處理操作過程中晶圓的精確定位。皮帶傳動提供平穩安靜的操作。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A還具有可編程晶圓定位接口，用於精確和受控晶圓放置。接口包括兩個用於監控晶圓位置的精密光學編碼器和一個用於控制晶圓位置的可編程邏輯控制器（PLC）。一個空氣軸承真空卡盤包括在設備安全地保持晶片在運輸和處理操作。002-1099-02 REV A還具有簡化系統操作和控制的用戶界面。用戶界面包括一個多功能顯示屏和一個用於編程和操作單元的圖形觸摸屏界面。用戶界面允許晶圓處理機的高效、準確的操作。BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A是一款先進的晶圓處理工具，結合了卓越的精度和速度以及自動晶圓處理能力。它是半導體工業的可靠和可靠的工具，能夠為廣泛的應用提供準確和快速的晶圓定位和操作。