二手 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7是專門為半導體應用設計的晶圓處理器。該晶片處理程序能夠處理各種晶片類型和大小,能夠安全地運輸、對準和定位晶片,而不會損壞晶片。該ATR-7采用精密驅動的對準設備實現了這一目標，該設備采用了由微處理器控制的伺服系統支撐的電動級。機動化級能夠進行高度精確的X和Y坐標定位，並且能夠在300 mm的距離上提供0.3 μ m的空間重復性。這種精確的對準單元允許尺寸變化不超過2.5毫米的晶圓的精確對準和傳輸。晶圓處理程序具有多種安全功能,可幫助確保每個晶圓的下落並降低任何潛在的汙染風險。這包括用於檢測晶片處理不當的許多傳感器，以及用於確保晶片傳輸時正確對準的集成監控機器。其他功能包括加熱卡車模塊、電子可調工藝速度和數據記錄功能。為了安全地運輸和對準晶片，ATR-7晶片處理程序的設計具有晶片載波和晶片對載波精度方面的多種選擇。隨附的晶圓載體允許精確和可重復的對準，確保每個晶圓在運輸過程中正確居中，最多可容納200毫米、7英寸或3個8英寸晶圓。載波還包括檢測單個晶片和存在STS、ETS或DTS測試帶的傳感機構。此外，ATR-7的晶片到載流子的精度可以從0.15 µm調整到3.5 µm，從而可以在載流子內精確放置每個晶片。002-7090-05 ATR-7是一個高度可靠和精確的晶片處理程序,旨在促進半導體應用中的安全、準確和高效的晶片傳輸和自動晶片處理。它提供了高精度、可重復對齊以及能夠以安全的方式處理各種晶圓大小和類型的能力。它是需要精確對準、跟蹤和傳輸晶片的自動化晶片處理應用的理想解決方案。