二手 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693 待售

BROOKS AUTOMATION 002-7200-21是一款全自動的機器人晶片處理器，設計用於半導體制造應用中300毫米直徑晶片的裝卸。處理程序包含一系列組件和功能,這些組件和功能協同工作以提供高效、可靠和安全的環境,從而自動將晶圓送入和送出加工工具。處理程序具有獨特的機制，可以牢固地抓住晶片，同時保持柔和的保護性觸摸，不接觸晶片表面。抓握機構采用無刷直流電機和旋轉輸出凸輪驅動晶圓的兩個獨立真空室。電機還產生低級振動，幫助真空保持晶片的安全。此外，真空有一個軟啟動和可變加速度和減速剖面，使晶片處理安全。處理程序還具有溫度控制的晶片盒式磁帶,用於存儲加工前後的晶片。使用先進的熱控制系統監控和維持盒式磁帶的溫度，以確保最佳性能和晶圓處理精度。而且，盒式磁帶可以快速輕松地互換，使晶片可以連續處理而不會有明顯的延遲。整個系統由復雜的控制軟件監控。自動化軟件使操作員能夠在飛行中調整諸如伺服設置、熱控制系統參數和晶圓傳輸速度等參數。此外,軟件還允許對處理程序進行遠程監視和診斷,以確保最高級別的性能和可靠性。該軟件還包括諸如asalarm分辨率記錄和自我診斷等功能,以便能夠快速識別和解決任何問題或故障。總體而言,002-7200-21是一種先進的晶圓處理解決方案,它為半導體處理操作提供了極高的精度和便利。處理程序采用了多種機制和技術，以確保晶片的安全運輸，而且維護要求最低。歸根結底，處理程序是簡化晶圓制造過程和確保最高質量和可靠性的必要工具。