二手 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 #293643080 待售

BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47
ID: 293643080
Robot wafer pre-aligner.
BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47是一款可靠的工業級晶圓處理器,非常適合半導體制造商。這款晶圓處理器采用模塊化設計,允許制造商定制設備以滿足他們的確切需求,並連接不同種類的機器人臂、船和視口。系統接受各種半導體晶圓,如200 mm、300 mm或500 mm,安全可靠。此外,它還具有高水平的顆粒控制和清潔度,以滿足所需的最高規格。002-7391-47的核心是它的機械臂組件。這種柔韌的手臂為晶圓的對準和轉移提供了精確的運動。它由鋁合金制成,在提升高度上可以移動到200毫米,使得晶片在源和目的吊艙之間能夠可靠準確的轉移。該單元的另一個核心部分是它的船裝配,這有助於在制造過程的各個階段運輸和儲存晶片。該船由不銹鋼制成,最多可容納200個不同直徑和厚度的晶圓。它具有低缺陷率,具有防跳機等功能,可在晶圓傳輸時將其損壞降至最低。該艇還具有內置的安全機構,旨在防止過熱,配有可選的惰性大氣生成模塊。BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47還具有視口組件,旨在為操作員提供整個過程的清晰視圖。視口的玻璃暢通無阻,使操作員可以監視晶片處理而不會造成阻塞。最重要的是,用墊圈將視口密封起來以防灰塵和濕氣。最後,002-7391-47也由高檔鋁和不銹鋼構成,保證了可靠的性能和易於維護。所有零件都經過精密設計,可在多個過程中實現平穩運行、高可重復性和準確性。模塊化設計還便於安裝,且停機時間最短。綜上所述,BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47是一款可靠、最先進的晶圓處理器,非常適合半導體制造商。它專為靈活性和速度而設計,具有多功能的機械臂、船和視口模塊,並增加了諸如低缺陷率、防跳過工具和內置安全機制等功能。它具有高等級的構造和模塊化設計,允許快速、方便的安裝、維護和可靠的性能。
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