二手 BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8 #9292388 待售
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BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8晶片處理程序是一種精密的機器人設備,用於在清潔的環境中處理大尺寸晶片。它旨在為最大直徑200毫米的晶片提供安全、溫和、精確的處理。處理程序非常可靠,具有堅固耐用的機械設計以及盒式磁帶加載/卸載功能。機器人的基座單元由兩個大鐵架和一個大基座組成,用於安全地安裝晶圓處理程序。框架設計包括高達5G的動態隔振,非常適合在高振動環境中使用。此外,該基地還包括空氣過濾路徑,以實現最佳的顆粒控制。機器人由80V直流電機驅動系統和高分辨率旋轉編碼器提供動力,以實現位置精度。此單元包括用於連接主機的靈活通信端口。機器人的操控元件由兩只手臂組成,兩只手臂都能旋轉180度,覆蓋更大範圍的晶圓。臂的運動由氣缸、直線軸和導線螺釘組成。為確保晶片的順利安全處理,兩臂均配有基於LED的廣角照明和帶橡膠塗層的抓地墊。此外,機器人還包括軟擋和超載保護,以保證晶圓的安全。機器人還包括兩個獨立的端部效應器,一個用於晶圓抓握,另一個用於旋轉臺式控制。晶圓夾持端效應器包括非接觸式傳感系統,以及用於沿晶圓邊緣夾持晶圓的微型執行器。此抓地力可以調整以適應不同尺寸的晶片,而彈性墊則提供合規的外形以防止損壞。另一方面,旋轉臺端效應器設計有一個平滑的表面,用於安全和可重復的抓握。002-7394-01 REV B8晶片處理器能夠透過其可程式移動控制器處理多個階段。它還包括一些用於常見任務的預定義配方,如排序、傳輸、翻轉和翻轉。用戶友好的界面和直觀的指令指南簡化了編程,以達到最大效率。機器人還設有安全聯鎖系統,以防止操作員受到任何形式的物理傷害。最後,BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8晶圓處理程序提供制造商一年的客戶滿意度保修。
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