二手 BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716 待售

BROOKS AUTOMATION 003-5000-11是一款先進的晶圓處理器，設計用於實驗室和研究設施，其中精確處理半導體晶圓至關重要。這種自動處理程序能夠處理200毫米至300毫米晶片，具有集成的熱邊和冷壁真空設計。晶圓處理器由用戶友好的觸摸屏UI控制，並配有4軸機器人手臂。這種機器人手臂有50mm的運動範圍，最多可攜帶25kg的材料。003-5000-11采用運動傳感器和高精度線性運動級構建,用於低噪聲和穩定基板傳輸。線性運動級具有變速控制，最大轉速為200 rpm，分辨率優於0.1微米。晶圓處理程序還具有用於精確基板放置的全自動預對準階段（FAPS）。FAPS使用兩臺1.8英寸CCD攝像機,它們具有「On-Axis」和「Off-Axis」照明,可精確對準。除了主要的晶圓處理功能外，BROOKS AUTOMATION 003-5000-11還設計了多種安全特性和聯鎖裝置，以防止意外操作。它集成了工前、工後部件和工具,以及電磁幹擾（EMI）濾波器和手動緊急停止按鈕。此外，晶圓處理程序的設計，以盡量減少清潔的需要，采用了半密封的美學設計。003-5000-11設計為可配合蝕刻、光刻、切丁、晶圓粘結等多種處理技術。它的工作溫度範圍為4-60°C，相對濕度範圍為30-95%，允許處理程序在一系列環境中使用。總體而言,BROOKS AUTOMATION 003-5000-11是一款出色的晶圓處理程序,可滿足所有晶圓處理需求。它具有一系列安全特性，可靠、精確，使研究人員和工程師能夠準確、自信地完成工作。003-5000-11具有高度可定制的軟件和集成的觸摸屏控制,是自動晶圓處理的理想選擇。