二手 BROOKS AUTOMATION 003-7200-23 #9226630 待售
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ID: 9226630
Backbone platform
BROOKS 003-1600-32 Mag 7 Robot
BROOKS 002-4037-03 Power pack
(2) BROOKS 003-9010-03 VCE 6 Vacuum cassette elevators
(2) VAT 0310X-CA24-AKK3 Rectangular gate valves
BROOKS Pre-aligner
BROOKS Mag 7 arm set
BROOKS 002-7090-04 Aquatran wafer handling robot
BROOKS 101374 Robot controller
(2) BROOKS 002-7200-21 Load ports.
BROOKS AUTOMATION 003-7200-23是一款晶圓處理器，為在半導體工業中精確可靠的晶圓處理和定位而設計。它是BROOKS AUTOMATION系列晶圓處理程序中的最新型號,為晶圓抓取和放置提供了卓越的精度水平。該設備由集成的雙軸伺服電動機驅動，確保晶圓處理器內的優越、精確和可靠的運動能力。此伺服電機最多可支撐5個運動軸：用於晶圓放置的X、Y、Z軸和用於晶圓尺寸選擇的兩個軸,以及用於對準的傾斜和旋轉。集成的PID運動控制器提供平滑、實時的運動軌跡，而內置位置編碼器則提供位置反饋，以確保準確可靠的晶圓定位。還集成了視覺系統，以確保晶圓的精確定位。該單位的設計效率高，成本效益高。它能夠高效地處理晶片,最大限度地提高吞吐量,同時最大限度地減少卸載和加載新晶片的停機時間。它還采用了選擇性運輸機制，使晶片能夠快速、方便地裝卸。直觀且用戶友好的觸摸屏顯示屏使計算機設置和操作變得輕而易舉,而模塊化設計則允許進行可升級、靈活的配置。該機還設計了魯棒性和壽命，長期提供準確可靠的晶圓處理。該工具是針對極端操作條件而設計的，並配有集成的環境控制資產。此外，該模型旨在促進設備部件的定期維護和校準，以確保頂級性能。003-7200-23晶片處理程序是一個非常先進、可靠和高效的集成晶片處理系統,非常適合要求更高精度和可靠性的半導體制造應用。
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