二手 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 #9204645 待售

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78是晶圓處理程序,旨在在加工、測試和計量站之間輕松高效地移動半導體基板。它的剛性結構和精密部件，如直線軸承、滾珠螺釘以及旋轉和直線執行器，保證了光滑可靠的晶圓操控性能。設備配有界面邏輯、安全聯鎖、精密運動控制，便於融入用戶現有的生產環境。此晶圓處理程序具有廣泛的功能和選項。它允許自動化、半自動化或手動操作,以及盒式磁帶、FOUP和FOSB的加載和卸載選項。其接口邏輯支持雙向通信、系統診斷和數據記錄，以及用於真空、刀片、冷卻和視覺系統的各種外部驅動程序。晶圓處理器設計有安全特性，如減壓閥、安全聯鎖和安全屏障，以及電磁屏蔽，以保護設備和環境。晶圓處理程序設計用於處理各種基材尺寸,包括200 mm和300 mm基材。其載荷能力為120KG，載荷高度範圍為150 mm至1150mm。該裝置配備了先進的運動控制技術，允許移動速度高達200毫米/秒。它還支持高精度運動和精度,可重復性為0.008mm。此晶片處理程序采用節能組件設計,包括無刷伺服電機、皮帶驅動器和高效開關調節器,以確保高性能和降低能源成本。該設備是為長期性能而設計的,其維護要求極低。它提供了對所有單元組件的智能監控,可確保在任何可能的維護需求成為問題之前確定它們。晶圓處理程序還具有可靠、用戶友好的操作機器，簡化了設備的設置和編程。它支持廣泛的可配置參數，包括加速、減速、速度、起停位置以及步進和重復操作。這樣可以輕松定制設備以滿足用戶的特定需求。總體而言，02110-BA24-AJY1 003-9300-78晶圓處理程序是一種用於半導體基板處理自動化的優秀設備。高性能運動控制技術、先進的安全特性、長期的可靠性和簡單的設置使其成為任何自動化制造環境的理想選擇。