二手 BROOKS AUTOMATION 121655 #9232807 待售

BROOKS AUTOMATION 121-655是一種晶圓處理設備，設計用於高效晶圓運輸和分配。它可以同時用於運輸和分配多達四個8英寸晶片。該系統主要用於半導體制造和測試實驗室，以及各研究機構的工具。該單元配備了可互換模塊，允許根據用戶需求進行定制。其中包括一個可調節的開放式載荷/卸載室、晶圓傳輸和鎖存、晶圓存儲容量和精密計量元件。這款晶圓處理器有多個空氣軸承軸，用於高性能操作，與多種晶圓處理設備兼容。該機有兩個主要部件，即一個自動化的Open-Load/Unload腔室和一個運動控制工具。前者提供了半導體工具晶片的精確、高精度和快速加載/卸載。它還包括在操作前後在操作室中精確定位晶片的資產。運動控制模型包括晶片交換機構和模具定位設備，可使多達四個8英寸晶片以鼓型配置旋轉，以減少載荷/卸載時間。晶圓處理系統還具有柔性真空晶圓處理單元、溫度控制機以及支持低接觸等離子體過程的能力。這種晶圓處理工具具有獨特的功能，使晶圓能夠以精確的方式在不同類型的工具之間傳輸。這有助於用戶減少與晶圓運輸和存儲相關的時間和能源成本。121-655是滿足所有用戶要求的可靠高效的晶圓處理資產。它是高度緊湊和節能的，確保它消耗最小的空間。此外,該模型使用耐用和高質量的組件以及易於使用和操作的健壯、用戶友好的軟件構建。這種設備的制造符合最高質量和安全標準。