二手 BROOKS AUTOMATION 138150 #293633715 待售

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ID: 293633715
Robot.
BROOKS AUTOMATION 138150晶片處理器是一種自動化晶片對準和處理工具,設計用於材料加工和生產作業。這種晶片處理設備能夠裝載、傳輸、對準、卸載和處理直徑不超過12英寸的晶片。138150配備了先進的視覺系統,以確保在對準和處理晶片時精確對準。BROOKS AUTOMATION 138150具有幾個關鍵功能,使其成為市場上最高效、最可靠的晶圓處理系統之一。該單元具有± 0.1毫米的可重復精度,以確保在執行晶圓對準和處理操作時精確對準。它還配備了自動晶片定心機,可以將晶片的中心位置調整到± 0.15毫米,從而增加一層精度和可靠性。為保證高吞吐量性能,138150采用了深思熟慮的基於真空的晶片加載工具。該資產利用兩條專用真空路徑,確保將晶片快速準確地加載到模型中。此外,該設備還具有高容量的負載鎖,能夠快速高效地同時處理多個晶片。BROOKS AUTOMATION 138150晶圓處理系統還包括高速直線執行器單元,以實現高速、精確的晶圓對準和處理,定位精度± 0.5毫米。這款線性執行器機進一步啟用了先進的視覺技術,使138150能夠在進行對準操作前精確讀取晶圓邊緣標記或其他晶圓特定標記。BROOKS AUTOMATION 138150還配備了先進的過程控制工具,允許自動化的過程優化和控制。這種過程控制資產使138150能夠以最小的操作員幹預來進行晶圓處理操作。此模型還可以設置為特定的流程配方,允許可以更快速運行的預編程、可重復和標準化操作,從而最大限度地減少停機時間並優化生產。BROOKS AUTOMATION 138150晶片處理器是一種高效可靠的自動化晶片對準和處理設備,設計用於材料加工和生產操作。該系統具有高速直線執行器單元、真空晶片裝載機、自動晶片定心工具、先進視覺資產和先進的過程控制模型,以確保可靠準確的晶片處理操作。138150能夠處理直徑達12英寸的晶片,精度±可重復精度的0.1毫米。對於任何需要高效可靠晶圓處理操作的材料加工或生產操作,此設備是一個很好的選擇。
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