二手 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254402 待售

BROOKS AUTOMATION 143668是一個晶圓處理器，旨在快速、高效地移動半導體通過處理線。利用高扭矩多軸運動,143668晶圓處理程序可在沒有額外硬件的情況下,在長、直截面或曲線周圍輸送直徑不超過6英寸（150毫米）的基板。BROOKS AUTOMATION 143668也能夠在3°C至40°C的範圍內精確控制加熱的晶片卡盤或冷板的溫度。該單元標配可編程邏輯控制器,允許操作員配置和運行不同的工作流。143668裝有三個獨立運動軸，載重量可達7公斤。兩個垂直軸上下移動晶圓操控臂，而第三個軸在基材載體之間移動。它真正是一個可以進行3-D運動的多軸設備。手臂最大行程417毫米，循環時間快達8秒。BROOKS AUTOMATION 143668晶片處理器是為了安全、免電池操作、容易整合和過程可靠性而設計的。該單元配有Easy EDM軟件包,便於編程和操作。EDM軟件允許操作員創建特定於單個流程的客戶定義的工作流。電源直接由外部交流線路提供,無需更換繁瑣的電池。該單元還配備了先進的電子監控系統，提供關於143668性能和狀況的實時反饋。BROOKS AUTOMATION 143668晶片處理器具有許多功能，以最大限度地提高流程效率和可靠性。集成的觸覺反饋單元向EDM軟件提供有關晶圓對齊的實時信息。這為操作員提供了對基板位置的精確控制，最大限度地減少了與未對準相關的缺陷。觸覺反饋機還能夠提供晶圓從一個站移動到另一個站的進展信息。143668是一個功能強大且可靠的晶圓處理程序,可滿足所有工藝需求。它的高扭矩多軸運動允許有效的基板沿著彎曲或筆直的路徑移動。它帶有Easy EDM軟件包和用於精確晶圓對齊的觸覺反饋工具。電源直接通過外部交流線路提供,無需更換繁瑣的電池。該設備還配備了一系列溫度控制選項，使其適合各種溫度。BROOKS AUTOMATION 143668晶圓處理程序的特點和功能是任何基材工藝的理想選擇。