二手 BROOKS AUTOMATION 199630-0001 #293670619 待售
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BROOKS AUTOMATION 199630-0001晶片處理程序是一種多用途、多室的設計,可容納100毫米至300毫米的各種晶片尺寸。先進的晶片處理程序設計在處理不同直徑的晶片時可提供卓越的性能,是矽片制造和加工的理想解決方案。腔體和蓋子采用重型耐腐蝕不銹鋼結構,框架采用焊接鋁擠出。199630-0001設計采用編碼器控制的環繞式皮帶系統,可減少材料彈跳,並在加工室之間提供一致、平穩的晶圓傳輸。皮帶的運動是assymetric,確保晶片移動不接觸或幹擾其他組件和材料在腔室。可調整驅動器以實現各種晶圓尺寸的最佳皮帶速度和加速度。BROOKS AUTOMATION 199630-0001的內部組件封閉在密封環境中,確保清潔幹燥的處理環境。通過腔室的氣流由具有電子風扇調速能力的可調風扇系統控制,排氣與過濾器集成。這種優化的環境減少了晶片上材料的升華和凝結。晶圓處理程序通過USB鏈接PC軟件進行監控和控制。如果檢測到錯誤,則會顯示錯誤代碼,並且在出現問題之前腔室會停止,從而降低損壞晶片的可能性。該軟件為易於使用而設計,具有用戶友好的圖形用戶界面和自動設置例程。199630-0001是一個高效、可靠、經濟的晶圓處理系統。設計用於反面接觸開口、PH3沈積、導電或介電濺射沈積等過程的最佳性能和完整的環境控制。多室設計可以輕松適應各種晶片尺寸,可調節的風扇速度和受控環境確保晶片的清潔、安全的操控。該軟件通過自動設置例程和錯誤檢測功能提供了簡單的操作控制。這種高度可靠、精密的晶片處理程序是矽片制造商和其他需要仔細、精確處理晶片的應用的理想選擇。
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