二手 BROOKS AUTOMATİON 9704-0955 #9356060 待售
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ID: 9356060
Robot
001-8672-01 Controller transfer module
Vacuum transfer module
THERMIONICS LABORATORY 569310 High vacuum wafer transfer module chamber robot interface
Robot interface
High vacuum interface
Isolation valve
View port
PFB G-2.0x10.2 PA
MAC 45A-AA2-DDAA-1CA Valve
Does not include stand.
BROOKS AUTOMATİON 9704-0955是專門設計用於半導體腔室應用的標準晶圓處理器。此晶片處理程序構建在模塊化平臺上,該平臺專為實現可擴展性而設計,使用戶能夠定制設備以滿足其特定的大小、容量和吞吐量需求。該系統配備了最先進的用戶直觀晶片界面、超低力精密機器人拾取器和先進的軟件控制,允許方便精確的晶片處理。處理程序還可以配置為使用各種對齊和邊緣輪廓傳感器,以確保晶圓方向準確。9704-0955單元在設計時考慮了安全性,采用了安全互鎖機、觸覺運動傳感器等多種特點,確保操作員安全。這一工具還旨在盡量減少必要的維護量;機器人和進料器設計用於最小的磨損,所有移動部件都使用低粘度、無毒的油進行潤滑。該資產還利用各種軟件控制的墊子提升器,以確保最佳的汙染預防和晶圓保護。BROOKS AUTOMATİON 9704-0955型號得到長期服務承諾的支持,提供各種服務和支持選項,包括培訓、維護和現場服務。可以通過多種方式配置設備,以滿足客戶的需求,包括手動或自動批量采樣、盒式磁帶/磁帶的加載/卸載、8「-18」晶圓尺寸支持、LCB/LTO/NR兼容性以及手動或自動的終端效果器交換。9704-0955是一種靈活可靠的半導體腔室應用選擇,允許用戶在保持最佳性能和最低維護要求的同時,根據自己的特定需求定制設備。這個晶圓處理程序有強大的服務承諾作為後盾,使客戶能夠靈活地專註於當前需求,同時對系統的長期性能充滿信心。
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