二手 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019132 待售

ID: 9019132
Robotic wafer transfer atmospheric Does not include arm.
BROOKS AUTOMATION AcuTran 7晶圓處理器是一款先進的高性能晶圓處理機器人,旨在滿足當今要求苛刻的半導體行業的要求。AcuTran 7在晶圓處理應用程序中提供卓越的性能、準確性、可靠性和靈活性。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7由AcuTrack控制器、機器人臂、XYZ軸舞臺和機器人臂運動控制單元組成。AcuTrack控制器是AcuTran 7設備的主要控制單元。它具有實時多任務操作系統、高速通信端口和強大的用戶界面。AcuTrack控制器可用於配置和控制整個BROOKS AUTOMATION AcuTran 7單元,包括機器人運動和手臂運動。機器人臂的設計在晶圓處理應用中提供最大的靈活性。它能夠執行拾取和放置操作、晶圓檢查、測量、對準和測試以及許多其他操作。機器人臂采用高精度無刷交流伺服電機供電,由先進的矢量電機控制器驅動。XYZ軸級符合SEMI標準,設計用於處理直徑不超過200 mm的晶片。它支持高精度運動控制,用於拾取、對準和測試操作。XYZ軸級由高分辨率編碼器驅動,並由無刷直流電機控制器供電。機器人手臂運動控制單元負責控制所有機器人手臂運動,補償晶圓錯位。它具有多模伺服環路控制機,並配有內置的混合器電路,提供更平滑、更精確的機器人運動。總體而言,AcuTran 7晶圓處理程序是一種極其可靠和堅固的工具,能夠精確處理各種晶圓處理應用程序。其先進的控制技術、先進的制造工藝和多模式伺服環路控制資產,確保它能夠滿足即使是最苛刻的應用的需求。BROOKS AUTOMATION AcuTran 7是一款可靠且經濟實惠的解決方案,可提供卓越的投資回報。
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