二手 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293770385 待售

ID: 293770385
Robot P/N: 121651 106512 Controller XPTN30R2-1-ES.
BROOKS AUTOMATION ATR-8是一種高性能晶片處理程序,旨在在指定的工作空間範圍內有效地傳輸、對齊和對齊晶片。BROOKS AUTOMATION ATR8適用於半導體和圖像傳感器制造廠的晶圓處理、分析研究和高密度晶圓存儲。該機具有寬闊的底座和承重平臺,允許攜帶直徑達230mm的晶圓盒式磁帶。此外,它的高扭矩電動機和新一代潛水驅動器使它能夠精確控制晶圓托盤的運動。ATR-8配備了一系列傳感器和智能組件,用於無錯誤處理。例如,機器與一個ABVision™的2D對準系統集成,該系統允許在微秒內精確居中晶圓。該機器還與真空控制輔助(VCA™)相結合,實現了所謂的「真空輸出」晶圓傳輸。這使得機器能夠對晶圓尺寸的變化做出快速反應,使其成為工作的可靠和安全的工具。機器改進的機械設計也有助於降低運營成本。ATR8采用了一種專利的空氣承載臂固定器,可提高晶圓在整個系統中運動的穩定性,從而降低與振動相關的風險。這有助於將晶圓斷裂和其他維護成本降至最低。BROOKS AUTOMATION ATR-8也有一個簡單的設計,使操作員更容易導航。該機器設計為與水平和垂直傳輸過程兼容。可以為各種操作配置傳輸協議,也可以為不同的托盤加載/卸載序列設置傳輸協議。機器還具有C軸對準功能,使其能夠在不同場景中快速準確對準晶片。總之,BROOKS AUTOMATION ATR8是一種可靠且用戶友好的晶圓處理程序。它具有傳感器、組件和機械設計功能,可改善操作並降低操作成本。此外,它與各種工藝的兼容性以及快速準確對準晶片的能力,使得它成為任何半導體和圖像傳感器制造廠的絕佳工具。
還沒有評論