二手 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9064554 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-8是一個行業標準的晶片處理程序,旨在在真空和壓力控制環境中可靠地運輸和交換晶片。該設備采用高速前端晶片處理機器人，以每秒25個晶片的速度精確處理和傳輸多達8個平行晶片。機器人臂梁由高扭矩的直接驅動電動機驅動，以實現平穩、精確的運動。該系統還包括一個BROOKS AUTOMATION ATR8緊湊的工藝室，它可以快速撤離以創造低壓環境。ATR-8還具有晶圓處理機器人和加工室之間一致、可靠的密封，提供高質量和可重復的結果。該單元配備了健壯的電子反饋，使操作員能夠根據需要監控和調整機器人手臂的速度。此外,ATR8與大多數標準晶片格式兼容,便於互換。BROOKS AUTOMATION ATR-8具有多種高級功能,可確保安全高效的晶圓處理過程。這些特點包括機電制動機接合機器人手臂和提供晶片的安全處理。該工具還具有最先進的安全互鎖系統、讀卡器和視覺識別技術，在處理精致晶片的同時保證操作員的安全。此外，資產還配備了幾個傳感器，用於檢測工藝室內的熱量或化學含量。BROOKS AUTOMATION ATR8還包括一個先進的過程控制模型，用於監測晶圓溫度、氣體水平、腔室壓力和流速等參數。這一特性使操作員能夠快速準確地分析、調整和優化晶圓處理條件。總體而言，ATR-8是在真空和壓力環境中處理和運輸晶片的高效可靠的設備。高級安全功能、強大的電子反饋系統和過程控制功能相結合,非常適合關鍵晶圓處理應用。